超純氮氣/N2

發(fā)布日期：2015-12-12 12:10:00

簡要描述：

超純氮氣氣體名稱規(guī)格主要用途氣體純度%氣體裝量鋼瓶體積/L閥門型號超純氮N6.013MPa40G5/8　在電子工業(yè)中高純氮氣是半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)工藝不可缺少的保護(hù)氣、載氣。N6.013MPa40CGA580N6.013MPa40CGA540　純氮、高純氮、超純氮（GB/T8979-2008)項目名稱指標(biāo)超純氮高純氮純氮氮氣（N2)的體積分?jǐn)?shù)/10-2≥99.999999.99999.99氧氣（O2)的體積分?jǐn)?shù)/10-6≤0.1350氬（Ar）的體積分?jǐn)?shù)/10-6≤2——氫氣（H2)的體積分?jǐn)?shù)/10-6≤0.1115一氧化碳（CO)的體積分?jǐn)?shù)/10-6≤0.115二氧化碳（CO2)的體積分?jǐn)?shù)/10-6≤0.1110甲烷（CH4)的體積分?jǐn)?shù)/10-6≤0.115水分/10-6≤0.5315注：表中純度和含量均以體積分?jǐn)?shù)表示（V/V)。