高純氫是指純度達(dá)到99.999%的氫氣。超純氫氣是指純度達(dá)到99.9999%的氫氣。主要應(yīng)用于氣體燃料,石油精煉,制造油脂、硬化油等人造奶油,甲醇、鹽酸、氨等的合成,焊接和金屬的切割,氣象觀測(cè),玻璃的融化,冶金工業(yè),冷卻劑(液氫),半導(dǎo)體制造用平衡氣、蝕刻氣、標(biāo)準(zhǔn)氣、零點(diǎn)氣、校正氣、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等。
氣體名稱(chēng) | 規(guī)格 | 主要用途 | |||
氣體純度% | 氣體裝量 | 鋼瓶體積/L | 閥門(mén)型號(hào) | ||
超純氫 | N6.0 | 13MPa | 40 | QF-30A |
用作保護(hù)氣、反應(yīng)氣、載氣、燃燒氣,有機(jī)物氫化反應(yīng)原料氣,在冶金工業(yè)中作為還原氣,用于電子材料、半導(dǎo)體集成電路以及電真空主器件的生產(chǎn)。 |