三氯化硼/BCL3

三氯化硼 （BCl3)

包裝：采用44L、47L鋼瓶充裝，也可根據(jù)客戶需要分裝到4-10L的氣瓶中。

用途：

1、高純?nèi)然鹬饕糜冢ü瑁┌雽?dǎo)體器件制造工藝中的擴(kuò)散摻雜（在高溫下，經(jīng)過分解生成硼雜質(zhì)向硅中擴(kuò)散，形成P型半導(dǎo)體）、離子注入（作為離子注入源，高能量作用下使硼原子離子化，產(chǎn)生硼離子束并注入硅形成P型淺結(jié)）、干法蝕刻（用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、Wsi等材料的蝕刻）等過程；

2、可作為許多有機(jī)反應(yīng)中的優(yōu)良催化劑及醫(yī)藥工業(yè)的中間體。

理化性質(zhì): 

無色發(fā)煙液體或氣體（有毒、不燃），有強(qiáng)烈刺激性、酸性氣味，易潮解，在潮濕的空氣中可產(chǎn)生濃密白煙，在水中分解為鹽酸和硼酸,在醇中分解為鹽酸和硼酸酯, 如作溶媒, 不能使鹽與強(qiáng)酸產(chǎn)生離子作用。

注意事項(xiàng)：

1、嚴(yán)加密閉，操作場所應(yīng)提供充分的局部排風(fēng)和全面通風(fēng)，并配備應(yīng)急處理設(shè)備。操作人員須經(jīng)過安全培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員帶防毒面具，戴橡膠手套，并防止氣體泄漏到工作場的空氣中，避免與水接觸。搬運(yùn)時要輕拿輕放或用合適的手推車來移動鋼瓶，一定不要拉，滾動，滑動或放倒鋼瓶，不要試圖抓住氣瓶的蓋來拎起它。氣瓶在使用的全過程中為固定狀態(tài)，用一個獨(dú)立的控制閥安全地從氣瓶內(nèi)釋放氣體。一旦鋼瓶接好，應(yīng)仔細(xì)，緩慢的打開閥門。如果使用者在操作氣瓶閥時有困難，需停止使用，并與供應(yīng)商聯(lián)系。 不可將工具(如：扳手，螺絲刀，等)插入鋼瓶蓋內(nèi)。否則會損壞閥門并引起泄漏。 使用可調(diào)節(jié)的扳手來打開過緊或生銹的鋼瓶蓋。不要用明火或其他臨近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。碳鋼、普通不銹鋼、Monel蒙乃爾合金(Ni-Fe-Cu)及銅可以在沒有潮氣的情況下使用。Ni-Mo-Cr及Ni-Ti-Cr合金(13.2-32%Ni合金)、鉑及金有很好的抗腐蝕性，可以在有潮氣的情況下使用。Kel-F或Teflon(聚四氟乙烯)、PVC（聚氯乙烯）可以作為墊圈材料。

2、儲存于陰涼與通風(fēng)的安全庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源，庫溫最好保持在35℃以下（最高存儲溫度不可高于52℃）。鋼瓶應(yīng)直立擺放，保持容器（閥門）密封完好并安裝鋼瓶蓋。應(yīng)與其它化學(xué)品分開存放，儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。